刻蚀设备用气体控制方法及刻蚀设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510975055.2

申请日：

2025-07-15

公开(公告)号：

CN120767222A

公开(公告)日：

2025-10-10

发明(设计)人：

林洋洋

申请人：

无锡邑文微电子科技股份有限公司江苏邑文微电子科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01J37/32 F17D1/04 F17D3/01

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

刘臣刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省南通市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250715
2025-10-10	公开	公开

共 50 条

[1]

刻蚀设备用夹具及刻蚀设备 [P].

张剑桥 ;

陈术文 ;

谢鹏程 ;

丘源荣 .

中国专利 :CN222720341U ,2025-04-04

[2]

刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备 [P].

叶杰民 ;

储世杰 ;

胡邦明 ;

王明明 .

中国专利 :CN223612379U ,2025-11-28

[3]

气体分配设备及刻蚀设备 [P].

廖海斌 ;

马晓 .

中国专利 :CN222267475U ,2024-12-31

[4]

一种刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

梁洁 ;

王兆祥 ;

涂乐志 ;

李可 ;

王晓雯 ;

方文强 ;

王奋 ;

田有粮 .

中国专利 :CN119028796A ,2024-11-26

[5]

一种刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

梁洁 ;

王兆祥 ;

涂乐志 ;

李可 ;

王晓雯 ;

方文强 ;

王奋 ;

田有粮 .

中国专利 :CN119028796B ,2025-05-13

[6]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302A ,2021-07-13

[7]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

张军 ;

徐惠芬 .

中国专利 :CN113889395A ,2022-01-04

[8]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

关超阳 ;

罗东 ;

刘健 ;

金娇 .

中国专利 :CN117457525A ,2024-01-26

[9]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302B ,2024-05-03

[10]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

杨晓隆 ;

童玲 .

中国专利 :CN118098950A ,2024-05-28

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