刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423132267.4

申请日：

2024-12-18

公开(公告)号：

CN223612379U

公开(公告)日：

2025-11-28

发明(设计)人：

叶杰民储世杰胡邦明王明明

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

吴浩

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-28	授权	授权

共 50 条

[1]

刻蚀设备用夹具及刻蚀设备 [P].

张剑桥 ;

陈术文 ;

谢鹏程 ;

丘源荣 .

中国专利 :CN222720341U ,2025-04-04

[2]

刻蚀设备用气体控制方法及刻蚀设备 [P].

林洋洋 .

中国专利 :CN120767222A ,2025-10-10

[3]

刻蚀罐及刻蚀设备 [P].

孙文昌 ;

靖瑞宽 ;

张家欢 .

中国专利 :CN201927585U ,2011-08-10

[4]

刻蚀设备的恒温系统、刻蚀设备 [P].

李国峰 ;

李健鹏 ;

马林 .

中国专利 :CN220731450U ,2024-04-05

[5]

刻蚀滚轮、刻蚀组件及刻蚀设备 [P].

谢毅 ;

周公庆 ;

马志强 ;

王璞 .

中国专利 :CN211828707U ,2020-10-30

[6]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302A ,2021-07-13

[7]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

张军 ;

徐惠芬 .

中国专利 :CN113889395A ,2022-01-04

[8]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

关超阳 ;

罗东 ;

刘健 ;

金娇 .

中国专利 :CN117457525A ,2024-01-26

[9]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302B ,2024-05-03

[10]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

杨晓隆 ;

童玲 .

中国专利 :CN118098950A ,2024-05-28

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