刻蚀设备用夹具及刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421386488.1

申请日：

2024-06-18

公开(公告)号：

CN222720341U

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

张剑桥陈术文谢鹏程丘源荣

申请人：

广东中图半导体科技股份有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业北二路4号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/673 H01L21/687

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

唐晓晖

法律状态：

授权

国省代码：

河北省保定市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	授权	授权

共 50 条

[1]

刻蚀设备用的内胆及刻蚀设备 [P].

叶杰民 ;

储世杰 ;

胡邦明 ;

王明明 .

中国专利 :CN223612379U ,2025-11-28

[2]

刻蚀设备用气体控制方法及刻蚀设备 [P].

林洋洋 .

中国专利 :CN120767222A ,2025-10-10

[3]

刻蚀罐及刻蚀设备 [P].

孙文昌 ;

靖瑞宽 ;

张家欢 .

中国专利 :CN201927585U ,2011-08-10

[4]

刻蚀滚轮、刻蚀组件及刻蚀设备 [P].

谢毅 ;

周公庆 ;

马志强 ;

王璞 .

中国专利 :CN211828707U ,2020-10-30

[5]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302A ,2021-07-13

[6]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

张军 ;

徐惠芬 .

中国专利 :CN113889395A ,2022-01-04

[7]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

关超阳 ;

罗东 ;

刘健 ;

金娇 .

中国专利 :CN117457525A ,2024-01-26

[8]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

胡家艳 ;

孔祥健 ;

吴凡 .

中国专利 :CN113113302B ,2024-05-03

[9]

刻蚀方法及刻蚀设备 [P].

杨晓隆 ;

童玲 .

中国专利 :CN118098950A ,2024-05-28

[10]

刻蚀设备及刻蚀方法 [P].

张言彩 .

中国专利 :CN119725162A ,2025-03-28

← 1 2 3 4 5 →