一种屏蔽栅沟槽型功率器件的制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511266291.3
申请日
2025-09-05
公开(公告)号
CN120751723A
公开(公告)日
2025-10-03
发明(设计)人
兰总金
申请人
杭州富芯半导体有限公司
申请人地址
311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号(滨富合作区)
IPC主分类号
H10D30/01
IPC分类号
H10D30/66 H10D62/10
代理机构
北京清源汇知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11644
代理人
刘瑞英
法律状态
公开
国省代码
浙江省 杭州市
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共 50 条
[1]
一种屏蔽栅沟槽型功率器件的制备方法 [P]. 
兰总金 .
中国专利 :CN120751723B ,2025-11-18
[2]
一种屏蔽栅沟槽型功率器件的制备方法 [P]. 
兰总金 .
中国专利 :CN120751754A ,2025-10-03
[3]
一种屏蔽栅沟槽型功率器件的制备方法 [P]. 
兰总金 ;
李秀柱 .
中国专利 :CN120812975A ,2025-10-17
[4]
屏蔽栅沟槽型功率器件及工艺方法 [P]. 
潘嘉 ;
杨继业 ;
陈思彤 ;
卢烁今 ;
齐笑 .
中国专利 :CN117393602A ,2024-01-12
[5]
沟槽型屏蔽栅功率器件的工艺方法 [P]. 
周颖 ;
陈正嵘 ;
张辉 .
中国专利 :CN108417487A ,2018-08-17
[6]
一种屏蔽栅沟槽型功率器件及制备方法 [P]. 
兰总金 ;
陈国帅 ;
李秀柱 ;
李猛 .
中国专利 :CN119403153A ,2025-02-07
[7]
屏蔽栅沟槽型功率器件及其制备方法 [P]. 
宋洁琼 ;
徐吉岩 .
中国专利 :CN121174544A ,2025-12-19
[8]
具有屏蔽栅的沟槽栅功率器件的制造方法 [P]. 
颜树范 .
中国专利 :CN105428241A ,2016-03-23
[9]
具有屏蔽栅的沟槽栅功率器件的制造方法 [P]. 
缪进征 ;
颜树范 .
中国专利 :CN105513971A ,2016-04-20
[10]
沟槽型功率器件栅氧化层的制备方法 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN104810268A ,2015-07-29