氧化镓的异质外延生长方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511310068.4

申请日：

2025-09-15

公开(公告)号：

CN120797195A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

黄小辉林桂荣刘润可田吻

申请人：

蓝河科技（绍兴）有限公司

申请人地址：

311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道万旺路8号1号楼1楼

IPC主分类号：

C30B25/16

IPC分类号：

H01L21/02 C30B25/18 C30B29/16 C23C16/452

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/16申请日:20250915
2025-12-02	授权	授权
2025-10-17	公开	公开

共 50 条

[1]

氧化镓的异质外延生长方法 [P].

黄小辉 ;

林桂荣 ;

刘润可 ;

田吻 .

中国专利 :CN120797195B ,2025-12-02

[2]

氧化镓的外延生长方法 [P].

黄小辉 ;

林桂荣 ;

刘润可 ;

田吻 .

中国专利 :CN120797194B ,2025-12-02

[3]

氧化镓的外延生长方法 [P].

黄小辉 ;

林桂荣 ;

刘润可 ;

田吻 .

中国专利 :CN120797194A ,2025-10-17

[4]

氧化镓薄膜及其异质外延生长方法与应用 [P].

张晓东 ;

马永健 ;

李军帅 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN112490112A ,2021-03-12

[5]

一种氧化镓薄膜及其异质外延生长方法 [P].

程再军 ;

罗杭 ;

郭榕榕 ;

郑荣升 ;

杨宇霖 .

中国专利 :CN118645423A ,2024-09-13

[6]

一种亚稳相氧化镓膜异质外延生长方法及装置 [P].

宁平凡 ;

李雄杰 ;

牛萍娟 ;

姜勇 .

中国专利 :CN117976521B ,2024-06-04

[7]

一种亚稳相氧化镓膜异质外延生长方法及装置 [P].

宁平凡 ;

李雄杰 ;

牛萍娟 ;

姜勇 .

中国专利 :CN117976521A ,2024-05-03

[8]

纳米线异质外延生长方法 [P].

任晓敏 ;

黄辉 ;

郭经纬 ;

叶显 ;

王琦 ;

蔡世伟 ;

黄永清 .

中国专利 :CN102040191A ,2011-05-04

[9]

异质衬底外延生长方法、异质外延结构及其应用 [P].

朱江鹏 ;

徐俞 ;

徐建喜 ;

王亮 ;

徐科 .

中国专利 :CN120568935B ,2025-09-23

[10]

异质衬底外延生长方法、异质外延结构及其应用 [P].

朱江鹏 ;

徐俞 ;

徐建喜 ;

王亮 ;

徐科 .

中国专利 :CN120568935A ,2025-08-29

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