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原子层沉积方法及用于在衬底上沉积层的相关方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510488137.4
申请日：
2025-04-18
公开(公告)号：
CN120830091A
公开(公告)日：
2025-10-24
发明(设计)人：
J·L·温克勒
申请人：
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址：
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/52
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王冉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-24 | 公开 | 公开 |