一种晶圆传输方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510900110.1

申请日：

2025-07-01

公开(公告)号：

CN120985526A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

王剑李俊卿李长坤

申请人：

华海清科股份有限公司

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

IPC主分类号：

B24B37/34

IPC分类号：

B24B1/00 B24B37/04 B24B37/10 B24B37/30 B24B27/00 B24B55/06

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/34申请日:20250701
2025-11-21	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆处理方法 [P].

路新春 ;

李长坤 ;

王剑 ;

李俊卿 ;

王科 .

中国专利 :CN120715797A ,2025-09-30

[2]

一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统 [P].

路新春 ;

李长坤 ;

王剑 ;

李俊卿 ;

王科 .

中国专利 :CN120715804A ,2025-09-30

[3]

一种晶圆传输方法及晶圆前端传输装置 [P].

孟亚东 ;

陆洪春 ;

王道广 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117476523B ,2024-06-14

[4]

一种晶圆传输方法及晶圆前端传输装置 [P].

孟亚东 ;

陆洪春 ;

王道广 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117476523A ,2024-01-30

[5]

晶圆传输平台与晶圆传输方法 [P].

金一诺 ;

黄金 .

中国专利 :CN120453208A ,2025-08-08

[6]

一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法 [P].

王强 ;

刘冬梅 ;

王勇 ;

刘广齐 .

中国专利 :CN117894727A ,2024-04-16

[7]

一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法 [P].

王强 ;

刘冬梅 ;

王勇 ;

刘广齐 .

中国专利 :CN117894727B ,2024-06-07

[8]

一种晶圆载片台及晶圆传输装置 [P].

庞浩 ;

尹影 ;

刘晓亮 ;

刘浩 .

中国专利 :CN113363188A ,2021-09-07

[9]

一种晶圆再生方法 [P].

耿玓 ;

王桂磊 ;

赵超 ;

李伟伟 ;

卢年端 ;

李泠 .

中国专利 :CN118335591A ,2024-07-12

[10]

一种化学机械抛光设备及其晶圆交换机构和晶圆传输方法 [P].

顾海洋 ;

杨思远 .

中国专利 :CN109732474A ,2019-05-10

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