用于晶圆的清洗方法以及晶圆

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510852496.3

申请日：

2025-06-24

公开(公告)号：

CN120895459A

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

郭宏雁崔源进左斌张树星夏新超

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司西安欣芯材料科技有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H10D62/60 H10D62/57 B08B3/02

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

沈寒酉;李宁

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	公开	公开
2025-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20250624

共 50 条

[1]

用于晶圆的清洗方法以及晶圆 [P].

夏新超 ;

张树星 ;

左斌 .

中国专利 :CN120221390A ,2025-06-27

[2]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[3]

用于外延晶圆的清洗方法以及外延晶圆 [P].

左斌 ;

张树星 ;

夏新超 .

中国专利 :CN120221391A ,2025-06-27

[4]

晶圆清洗装置及清洗晶圆的方法 [P].

吕庚陆 .

中国专利 :CN114649233A ,2022-06-21

[5]

晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112233996A ,2021-01-15

[6]

晶圆清洗装置及清洗晶圆的方法 [P].

吕庚陆 .

中国专利 :CN114649233B ,2025-08-22

[7]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[8]

晶圆清洗装置与晶圆清洗方法 [P].

祝君龙 ;

李君 ;

顾立勋 ;

赖睿彬 .

中国专利 :CN113020078A ,2021-06-25

[9]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 ;

李在桓 ;

陈光林 ;

曲迪 ;

张迪 .

中国专利 :CN114999967B ,2025-07-25

[10]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

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