一种用于MPCVD系统的导流式样品托及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010692712.X

申请日：

2020-07-17

公开(公告)号：

CN111676466B

公开(公告)日：

2025-10-21

发明(设计)人：

王宏兴王艳丰

申请人：

西安德盟特半导体科技有限公司

申请人地址：

710075 陕西省西安市高新区唐延南路十一号1幢1单元11403室

IPC主分类号：

C23C16/458

IPC分类号：

C23C16/455 C23C16/27

代理机构：

西安维赛恩专利代理事务所(普通合伙) 61257

代理人：

刘艳霞

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于MPCVD系统的导流式样品托及MPCVD系统 [P].

王宏兴 ;

王艳丰 .

中国专利 :CN212713747U ,2021-03-16

[2]

一种用于MPCVD系统的导流式样品托及系统 [P].

王宏兴 ;

王艳丰 .

中国专利 :CN111676466A ,2020-09-18

[3]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223535205U ,2025-11-11

[4]

一种用于MPCVD设备的样品台及MPCVD设备 [P].

张晶 ;

王陶 ;

罗显靖 ;

胡向阳 .

中国专利 :CN223548096U ,2025-11-14

[5]

一种带有偏压引线的样品台组件及MPCVD系统 [P].

黄春林 ;

刘文科 ;

胡宗义 ;

李俊宏 ;

李东亚 .

中国专利 :CN116732502B ,2024-08-23

[6]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191A ,2024-09-20

[7]

一种基片台系统及MPCVD设备 [P].

张磊 ;

朱磊 ;

贾燕伟 ;

赵万辉 ;

吴周礼 .

中国专利 :CN118668191B ,2025-12-26

[8]

一种MPCVD系统 [P].

黄春林 ;

胡宗义 ;

刘文科 ;

吴丹 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN116180057B ,2024-09-24

[9]

一种反应腔组件、MPCVD系统及MPCVD系统控制方法 [P].

黄春林 ;

陈森林 ;

李俊宏 ;

李东亚 .

中国专利 :CN116334597B ,2024-06-25

[10]

一种基于钼托组件的金刚石生长方法、系统、MPCVD设备及介质 [P].

陈月 ;

全峰 .

中国专利 :CN119392222B ,2025-03-14

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