上电极组件及等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410495317.0

申请日：

2024-04-23

公开(公告)号：

CN120833996A

公开(公告)日：

2025-10-24

发明(设计)人：

吴昊叶如彬

申请人：

中微半导体设备（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H05B3/02 H05B3/06 H05B3/20

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

张静洁;徐雯琼

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-24	公开	公开
2025-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20240423

共 50 条

[1]

上电极组件及其等离子体处理装置 [P].

杨金全 ;

黄允文 .

中国专利 :CN213340284U ,2021-06-01

[2]

下电极组件及等离子体处理装置 [P].

郭二飞 ;

左涛涛 .

中国专利 :CN222734926U ,2025-04-08

[3]

电极组件和等离子体处理装置 [P].

高桥千香子 ;

铃木隆司 ;

堀口将人 .

中国专利 :CN100525577C ,2007-03-14

[4]

电极板、电极组件和等离子体处理装置 [P].

有吉文彬 ;

花冈秀敏 .

日本专利 :CN119790716A ,2025-04-08

[5]

等离子体处理装置用电极及等离子体处理装置 [P].

松岛圭一 ;

铃木隆司 ;

古家元 .

中国专利 :CN1643666A ,2005-07-20

[6]

等离子体处理装置和下电极组件 [P].

倪图强 ;

郭盛 ;

孙祥 ;

范光伟 ;

杨宽 ;

王洪青 ;

陈星建 ;

杜若昕 .

中国专利 :CN214477329U ,2021-10-22

[7]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN214672493U ,2021-11-09

[8]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

吴磊 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN114914142A ,2022-08-16

[9]

下电极组件和等离子体处理装置 [P].

裴江涛 ;

连增迪 ;

左涛涛 ;

吴狄 .

中国专利 :CN213150716U ,2021-05-07

[10]

下电极组件及其等离子体处理装置 [P].

王洪青 ;

左涛涛 .

中国专利 :CN121148978A ,2025-12-16

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