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上电极组件及其等离子体处理装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022801115.4
申请日：
2020-11-27
公开(公告)号：
CN213340284U
公开(公告)日：
2021-06-01
发明(设计)人：
杨金全
黄允文
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
张妍;贾慧琴
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-01 | 授权 | 授权 |