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一种底部抗反射涂层组合物及其制备方法和应用
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202511083831.4
申请日
:
2025-08-04
公开(公告)号
:
CN120993675A
公开(公告)日
:
2025-11-21
发明(设计)人
:
马丽丽
王静
毛鸿超
宋里千
肖楠
林国清
申请人
:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
申请人地址
:
361027 福建省厦门市海沧区东孚镇山边路389号
IPC主分类号
:
G03F7/09
IPC分类号
:
C08F220/20
C08F220/18
C08F220/14
C08F220/28
C08F220/32
C08F220/34
C08F232/08
C08F212/08
C08F212/12
代理机构
:
厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282
代理人
:
赖秀华
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
福建省 厦门市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-12-09
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/09申请日:20250804
2025-11-21
公开
公开
共 50 条
[1]
一种底部抗反射涂层及其制备方法和应用
[P].
方书农
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
上海新阳半导体材料股份有限公司
上海新阳半导体材料股份有限公司
方书农
;
王溯
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0
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机构:
上海新阳半导体材料股份有限公司
上海新阳半导体材料股份有限公司
王溯
;
耿志月
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机构:
上海新阳半导体材料股份有限公司
上海新阳半导体材料股份有限公司
耿志月
;
唐晨
论文数:
0
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0
机构:
上海新阳半导体材料股份有限公司
上海新阳半导体材料股份有限公司
唐晨
.
中国专利
:CN116102680B
,2024-02-13
[2]
底部抗反射涂层组合物及其制备方法
[P].
顾大公
论文数:
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顾大公
;
陈鹏
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陈鹏
;
夏力
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夏力
;
马潇
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马潇
;
毛智彪
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毛智彪
;
许从应
论文数:
0
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许从应
.
中国专利
:CN114384761A
,2022-04-22
[3]
一种抗反射涂层组合物及其制备方法和应用
[P].
曾成财
论文数:
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
曾成财
;
李禾禾
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
李禾禾
;
王静
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
王静
;
郑可茹
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
郑可茹
;
王雪枫
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
王雪枫
;
宋里千
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
宋里千
;
安辉
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
安辉
;
赵永红
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
赵永红
.
中国专利
:CN120699506A
,2025-09-26
[4]
一种底部抗反射涂层组合物及其制备方法
[P].
顾大公
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顾大公
;
夏力
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夏力
;
马潇
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马潇
;
陈鹏
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陈鹏
;
许从应
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许从应
;
毛智彪
论文数:
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0
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0
毛智彪
.
中国专利
:CN114415473A
,2022-04-29
[5]
一种含硅底部抗反射涂层组合物及其制备方法与应用
[P].
马丽丽
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
马丽丽
;
林国清
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
林国清
;
毛鸿超
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
毛鸿超
;
王静
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
王静
;
宋里千
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机构:
福建泓光半导体材料有限公司
福建泓光半导体材料有限公司
宋里千
.
中国专利
:CN119331250A
,2025-01-21
[6]
一种自交联聚合物和底部抗反射涂层组合物及其制备方法和应用
[P].
曾成财
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
曾成财
;
王静
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
王静
.
中国专利
:CN117866135A
,2024-04-12
[7]
一种自交联聚合物和底部抗反射涂层组合物及其制备方法和应用
[P].
曾成财
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
曾成财
;
王静
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
王静
.
中国专利
:CN117866135B
,2025-01-24
[8]
一种新型底部抗反射涂层组合物及其制备方法
[P].
顾大公
论文数:
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顾大公
;
夏力
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夏力
;
马潇
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马潇
;
陈鹏
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陈鹏
;
卢汉林
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卢汉林
;
许从应
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许从应
;
毛智彪
论文数:
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0
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0
毛智彪
.
中国专利
:CN114706273A
,2022-07-05
[9]
一种丙烯酸酯类聚合物和光敏性底部抗反射涂层组合物及其制备方法和应用
[P].
马丽丽
论文数:
0
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
马丽丽
;
王静
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
王静
;
毛鸿超
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
毛鸿超
;
宋里千
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
宋里千
;
肖楠
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机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
肖楠
;
林国清
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0
机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
林国清
.
中国专利
:CN120988182A
,2025-11-21
[10]
一种含硅聚合物和底部抗反射涂层组合物及其制备方法
[P].
马丽丽
论文数:
0
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0
机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
马丽丽
;
毛鸿超
论文数:
0
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0
机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
毛鸿超
;
王静
论文数:
0
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0
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0
机构:
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
王静
.
中国专利
:CN116478328B
,2025-01-24
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