共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种深沟槽填充方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410495378.7
申请日：
2024-04-23
公开(公告)号：
CN120834003A
公开(公告)日：
2025-10-24
发明(设计)人：
刘伟
潘世荣
申请人：
北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号9幢一层
IPC主分类号：
H01L21/205
IPC分类号：
代理机构：
北京市一法律师事务所 11654
代理人：
刘荣娟
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-24 | 公开 | 公开 |
| 2025-11-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/205申请日:20240423 |