深沟槽填充方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910057251.2

申请日：

2009-05-13

公开(公告)号：

CN101887852A

公开(公告)日：

2010-11-17

发明(设计)人：

缪燕谢烜季伟彭虎

申请人：

申请人地址：

201206 上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

H01L21312

IPC分类号：

H01L21311 H01L21316 C23C1644

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

顾继光

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-11-17	公开	公开
2012-08-01	授权	授权
2010-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101028086066 IPC(主分类):H01L 21/312 专利申请号:2009100572512 申请日:20090513
2014-01-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684700174 IPC(主分类):H01L 21/312 专利号:ZL2009100572512 变更事项:专利权人变更前权利人:上海华虹NEC电子有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201206 上海市浦东新区川桥路1188号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20131216

共 50 条

[1]

深沟槽填充方法 [P].

姚亮 ;

王飞 .

中国专利 :CN106229335A ,2016-12-14

[2]

深沟槽填充方法 [P].

缪海生 ;

许超奇 ;

武慧慧 ;

徐少辉 .

中国专利 :CN117995751A ,2024-05-07

[3]

深沟槽填充方法 [P].

王雷 ;

李伟峰 .

中国专利 :CN103579073B ,2014-02-12

[4]

深沟槽填充方法 [P].

张露芳 ;

朱作华 .

中国专利 :CN118398551A ,2024-07-26

[5]

深沟槽外延填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN108376670A ,2018-08-07

[6]

深沟槽的填充方法 [P].

陈跃华 ;

孟艳秋 .

中国专利 :CN120280400A ,2025-07-08

[7]

超级结深沟槽填充方法 [P].

伍洲 .

中国专利 :CN109817700A ,2019-05-28

[8]

一种深沟槽填充方法 [P].

刘伟 ;

潘世荣 .

中国专利 :CN120834003A ,2025-10-24

[9]

提高深沟槽填充能力的方法 [P].

姚亮 ;

王飞 .

中国专利 :CN109148276A ,2019-01-04

[10]

超结结构的深沟槽填充方法 [P].

陶有飞 ;

钱慧 .

中国专利 :CN102184884A ,2011-09-14

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