超结结构的深沟槽填充方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110087244.4

申请日：

2011-04-08

公开(公告)号：

CN102184884A

公开(公告)日：

2011-09-14

发明(设计)人：

陶有飞钱慧

申请人：

申请人地址：

200233 上海市虹漕路385号

IPC主分类号：

H01L21762

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

陈亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-09-14	公开	公开
2011-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101127317993 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2011100872444 申请日:20110408
2014-04-23	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101700361814 IPC(主分类):H01L 21/762 专利申请号:2011100872444 申请公布日:20110914

共 50 条

[1]

超结结构的深沟槽填充方法 [P].

陶有飞 .

中国专利 :CN102184883A ,2011-09-14

[2]

深沟槽填充方法 [P].

张露芳 ;

朱作华 .

中国专利 :CN118398551A ,2024-07-26

[3]

深沟槽超结结构的保护环 [P].

陶有飞 .

中国专利 :CN202651111U ,2013-01-02

[4]

深沟槽的填充方法 [P].

陈跃华 ;

孟艳秋 .

中国专利 :CN120280400A ,2025-07-08

[5]

深沟槽填充方法 [P].

缪燕 ;

谢烜 ;

季伟 ;

彭虎 .

中国专利 :CN101887852A ,2010-11-17

[6]

深沟槽填充方法 [P].

姚亮 ;

王飞 .

中国专利 :CN106229335A ,2016-12-14

[7]

深沟槽填充方法 [P].

缪海生 ;

许超奇 ;

武慧慧 ;

徐少辉 .

中国专利 :CN117995751A ,2024-05-07

[8]

深沟槽填充方法 [P].

王雷 ;

李伟峰 .

中国专利 :CN103579073B ,2014-02-12

[9]

超深沟槽的多级刻蚀与填充方法 [P].

钱文生 ;

王飞 .

中国专利 :CN101752225A ,2010-06-23

[10]

深沟槽填充结构及其制作方法 [P].

刘张李 .

中国专利 :CN103413777A ,2013-11-27

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