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深沟槽填充方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211337509.6
申请日：
2022-10-28
公开(公告)号：
CN117995751A
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
缪海生
许超奇
武慧慧
徐少辉
申请人：
无锡华润上华科技有限公司
申请人地址：
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号
IPC主分类号：
H01L21/762
IPC分类号：
H01L21/336
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
周耀君
法律状态：
公开
国省代码：
河北省
保定市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-07 | 公开 | 公开 |
| 2024-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/762申请日:20221028 |