一种用于晶圆载具的清洗设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510087115.7

申请日：

2025-01-20

公开(公告)号：

CN119838984B

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

潘经波温小健刘出群郭昕

申请人：

浙江赛瑾半导体科技有限公司

申请人地址：

314100 浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道鑫达路8号A-1栋

IPC主分类号：

B08B9/28

IPC分类号：

B08B9/42 B08B3/10 B08B7/00 F26B21/00

代理机构：

嘉兴鼎鸿智宇知识产权代理事务所(普通合伙) 33529

代理人：

燕宏伟;任必为

法律状态：

公开

国省代码：

浙江省嘉兴市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-18	公开	公开
2025-11-21	授权	授权
2025-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 9/28申请日:20250120

共 50 条

[1]

一种用于晶圆载具的清洗设备 [P].

潘经波 ;

温小健 ;

刘出群 ;

郭昕 .

中国专利 :CN119838984A ,2025-04-18

[2]

一种晶圆载具清洗设备 [P].

刘为银 ;

韩笑 ;

胡文超 ;

张戈权 .

中国专利 :CN223505832U ,2025-11-04

[3]

晶圆载具及晶圆涂胶设备 [P].

雷艳 ;

倪维涛 ;

毕秀文 ;

袁六婕 ;

闫跃江 .

中国专利 :CN220420546U ,2024-01-30

[4]

晶圆载具 [P].

张炯康 .

中国专利 :CN223066133U ,2025-07-04

[5]

一种晶圆载具 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN212485283U ,2021-02-05

[6]

一种晶圆载具 [P].

刘宗超 .

中国专利 :CN207217497U ,2018-04-10

[7]

一种晶圆载具 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN111341708B ,2024-08-16

[8]

一种晶圆载具 [P].

宣荣卫 ;

吕俊 .

中国专利 :CN111341708A ,2020-06-26

[9]

一种晶圆载具 [P].

洪巧水 ;

朱明伟 ;

刘小波 .

中国专利 :CN223206239U ,2025-08-08

[10]

一种晶圆载具 [P].

莫中友 .

中国专利 :CN206672907U ,2017-11-24

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