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一种对准装置和掩膜版对准系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511584269.3
申请日：
2025-10-31
公开(公告)号：
CN121050193A
公开(公告)日：
2025-12-02
发明(设计)人：
张琪 符友银 朱文宇 张建坤
申请人：
上海新毅东半导体科技有限公司
申请人地址：
201708 上海市青浦区华新镇北青公路3888号6幢
IPC主分类号：
G03F9/00
IPC分类号：
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
崔熠
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-19 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20251031
2025-12-02 公开 公开
共 50 条
[1]
光刻机掩膜版对准系统 [P]. 
张琪 ;
符友银 ;
张曼妮 .
中国专利 :CN119395954A ,2025-02-07
[2]
光刻机掩膜版对准系统 [P]. 
张琪 ;
符友银 ;
张曼妮 .
中国专利 :CN119395954B ,2025-04-04
[3]
掩膜版和硅片对准装置 [P]. 
宋宇 ;
孙海旋 ;
曾维俊 ;
卢瑶 ;
钱俊 ;
闫雪松 ;
于福鑫 ;
吕丹辉 .
中国专利 :CN113066747A ,2021-07-02
[4]
掩膜版和硅片对准装置 [P]. 
宋宇 ;
孙海旋 ;
曾维俊 ;
卢瑶 ;
钱俊 ;
闫雪松 ;
于福鑫 ;
吕丹辉 .
中国专利 :CN113066747B ,2024-05-17
[5]
掩膜对准标记组合、掩膜对准系统、光刻装置及其方法 [P]. 
陈小娟 ;
忻斌杰 ;
李术新 .
中国专利 :CN111752112B ,2020-10-09
[6]
对准装置、透镜对准系统 [P]. 
福岛一 ;
广田淳 ;
井口润一 ;
岛村真理惠 .
中国专利 :CN113167984A ,2021-07-23
[7]
对准系统和对准标记 [P]. 
李运锋 ;
韦学志 ;
徐荣伟 ;
陈勇辉 ;
周畅 .
中国专利 :CN100527000C ,2008-04-09
[8]
位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统 [P]. 
高安 ;
孙建超 ;
忻斌杰 ;
陈小娟 .
中国专利 :CN211605165U ,2020-09-29
[9]
掩膜对准系统和方法、以及光刻机 [P]. 
张惠 ;
刘功振 ;
文斌 ;
韦宏图 .
中国专利 :CN117930602A ,2024-04-26
[10]
掩膜对准系统和方法、以及光刻机 [P]. 
张惠 ;
刘功振 ;
文斌 ;
韦宏图 .
中国专利 :CN117930602B ,2024-07-02
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