一种半导体基板传送轨道调节装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423309952.X

申请日：

2024-12-31

公开(公告)号：

CN223645784U

公开(公告)日：

2025-12-09

发明(设计)人：

陆宁宁田杰锋

申请人：

幂帆科技（南通）有限公司

申请人地址：

226000 江苏省南通市崇川区幸福路688号4幢1-2层

IPC主分类号：

B65G47/90

IPC分类号：

代理机构：

无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323

代理人：

郭金玉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体电镀车间用传送轨道 [P].

魏忠亮 ;

王林 ;

杜荣华 ;

王健 ;

魏冬 ;

朱立海 .

中国专利 :CN213975862U ,2021-08-17

[2]

半导体基板、半导体装置 [P].

木村龙一 .

中国专利 :CN203242661U ,2013-10-16

[3]

半导体基板的温度调节装置 [P].

财贺正生 ;

小野贵弘 .

中国专利 :CN100466239C ,2005-03-30

[4]

一种半导体基板 [P].

杨正铭 .

中国专利 :CN212412042U ,2021-01-26

[5]

一种半导体基板 [P].

张伟 .

中国专利 :CN204332936U ,2015-05-13

[6]

传送半导体基板的工作站 [P].

游宏程 ;

张志逢 ;

陈伟仁 ;

刘家诚 ;

林展永 .

中国专利 :CN208637397U ,2019-03-22

[7]

一种半导体基板清洗装置 [P].

王祖强 .

中国专利 :CN202277980U ,2012-06-20

[8]

一种半导体基板搬运装置 [P].

沈良霖 .

中国专利 :CN208570570U ,2019-03-01

[9]

一种半导体及泛半导体基板运输转向装置 [P].

沈良霖 .

中国专利 :CN209056472U ,2019-07-02

[10]

一种半导体对位结构及半导体基板 [P].

曾依蕾 ;

曾翔 ;

蔡洋洋 ;

杨忠宪 .

中国专利 :CN210272345U ,2020-04-07

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