一种半导体基板清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120422069.5

申请日：

2011-10-28

公开(公告)号：

CN202277980U

公开(公告)日：

2012-06-20

发明(设计)人：

王祖强

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B05B102 F26B502 F26B2100

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

黄灿;姜精斌

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-20	授权	授权
2021-11-16	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20111028 授权公告日:20120620

共 50 条

[1]

半导体基板清洗装置 [P].

王晖 ;

陶晓峰 ;

陈福平 ;

贾社娜 ;

王希 ;

张晓燕 ;

李学军 .

中国专利 :CN110383455A ,2019-10-25

[2]

半导体基板的清洗装置及半导体基板的清洗方法 [P].

藤村侑 .

中国专利 :CN110168705A ,2019-08-23

[3]

一种半导体基板清洗设备 [P].

冀然 .

中国专利 :CN211359828U ,2020-08-28

[4]

半导体基板、半导体装置 [P].

木村龙一 .

中国专利 :CN203242661U ,2013-10-16

[5]

半导体基板清洗毛刷机 [P].

廖明俊 ;

赵亮 ;

陈建华 ;

蒋秦苏 .

中国专利 :CN202725526U ,2013-02-13

[6]

半导体基板清洗系统及半导体基板的清洗方法 [P].

小川祐一 .

中国专利 :CN105009258B ,2015-10-28

[7]

一种单叶式半导体基板清洗装置及清洗方法 [P].

刘载安 ;

华克路 ;

韩镛弼 .

中国专利 :CN117672926A ,2024-03-08

[8]

一种半导体基板 [P].

杨正铭 .

中国专利 :CN212412042U ,2021-01-26

[9]

一种半导体基板 [P].

张伟 .

中国专利 :CN204332936U ,2015-05-13

[10]

一种半导体基板自动上料装置 [P].

周洲 ;

郭立添 ;

凌坤荣 .

中国专利 :CN223396931U ,2025-09-30

← 1 2 3 4 5 →