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一种电极组件及半导体预清洁设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411889129.2
申请日：
2024-12-19
公开(公告)号：
CN119764151B
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
王琰 葛绍理
申请人：
江苏天芯微半导体设备有限公司
申请人地址：
214111 江苏省无锡市新吴区新梅路58号
IPC主分类号：
H01J37/32
IPC分类号：
H01L21/67 B08B7/00 B08B13/00
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
朱成之
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省 无锡市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-22 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20241219
2025-04-04 公开 公开
2025-12-12 授权 授权
共 50 条
[1]
一种电极组件及半导体预清洁设备 [P]. 
王琰 ;
葛绍理 .
中国专利 :CN119764151A ,2025-04-04
[2]
一种电极及半导体预清洁设备 [P]. 
翟硕彦 .
中国专利 :CN119340185A ,2025-01-21
[3]
下电极组件及半导体设备 [P]. 
张超 .
中国专利 :CN112951691A ,2021-06-11
[4]
一种半导体焊接预清洁设备 [P]. 
刘鲲 ;
庄明虔 ;
李儒 .
中国专利 :CN222015361U ,2024-11-15
[5]
一种半导体抛光预清洁设备 [P]. 
金相一 .
中国专利 :CN119427101A ,2025-02-14
[6]
预清洁装置及半导体设备 [P]. 
丁瑜 ;
邢超 ;
李兵 ;
王伟 .
中国专利 :CN223066119U ,2025-07-04
[7]
下电极组件及半导体加工设备 [P]. 
苏恒毅 ;
韦刚 ;
李兴存 ;
栾大为 .
中国专利 :CN106816352A ,2017-06-09
[8]
上电极组件及半导体加工设备 [P]. 
李雪菲 .
中国专利 :CN106711006A ,2017-05-24
[9]
电极组件及半导体工艺设备 [P]. 
邵湛惟 ;
侯鹏飞 ;
闫志顺 ;
赵福平 .
中国专利 :CN120776281A ,2025-10-14
[10]
下电极组件及半导体加工设备 [P]. 
栾大为 .
中国专利 :CN106816397A ,2017-06-09
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