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一种半导体抛光预清洁设备
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202310949854.3
申请日
:
2023-07-31
公开(公告)号
:
CN119427101A
公开(公告)日
:
2025-02-14
发明(设计)人
:
金相一
申请人
:
成都高真科技有限公司
申请人地址
:
610000 四川省成都市高新区科新路8号附19号
IPC主分类号
:
B24B7/22
IPC分类号
:
B24B29/02
B24B27/033
B24B49/10
B24B47/12
B24B41/06
B24B49/16
代理机构
:
成都行之专利代理有限公司 51220
代理人
:
喻英
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-03-04
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):B24B 7/22申请日:20230731
2025-02-14
公开
公开
共 50 条
[1]
一种半导体焊接预清洁设备
[P].
刘鲲
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
山东省半导体研究所
山东省半导体研究所
刘鲲
;
庄明虔
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
山东省半导体研究所
山东省半导体研究所
庄明虔
;
李儒
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
山东省半导体研究所
山东省半导体研究所
李儒
.
中国专利
:CN222015361U
,2024-11-15
[2]
一种电极及半导体预清洁设备
[P].
翟硕彦
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
江苏天芯微半导体设备有限公司
江苏天芯微半导体设备有限公司
翟硕彦
.
中国专利
:CN119340185A
,2025-01-21
[3]
一种电极组件及半导体预清洁设备
[P].
王琰
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
江苏天芯微半导体设备有限公司
江苏天芯微半导体设备有限公司
王琰
;
葛绍理
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
江苏天芯微半导体设备有限公司
江苏天芯微半导体设备有限公司
葛绍理
.
中国专利
:CN119764151A
,2025-04-04
[4]
一种电极组件及半导体预清洁设备
[P].
王琰
论文数:
0
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0
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0
机构:
江苏天芯微半导体设备有限公司
江苏天芯微半导体设备有限公司
王琰
;
葛绍理
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
江苏天芯微半导体设备有限公司
江苏天芯微半导体设备有限公司
葛绍理
.
中国专利
:CN119764151B
,2025-12-12
[5]
一种半导体设备结构及清洁设备
[P].
王飞
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
王飞
;
盛春鸣
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
盛春鸣
.
中国专利
:CN221352700U
,2024-07-16
[6]
一种半导体设备视窗抛光清洁装置
[P].
武斌
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
亚赛(无锡)半导体科技有限公司
亚赛(无锡)半导体科技有限公司
武斌
;
盛伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
亚赛(无锡)半导体科技有限公司
亚赛(无锡)半导体科技有限公司
盛伟
;
方童
论文数:
0
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0
机构:
亚赛(无锡)半导体科技有限公司
亚赛(无锡)半导体科技有限公司
方童
.
中国专利
:CN221560898U
,2024-08-20
[7]
预清洁装置及半导体设备
[P].
丁瑜
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
丁瑜
;
邢超
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
邢超
;
李兵
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
李兵
;
王伟
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
芯恩(青岛)集成电路有限公司
芯恩(青岛)集成电路有限公司
王伟
.
中国专利
:CN223066119U
,2025-07-04
[8]
一种半导体封装清洁设备
[P].
陈坤能
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
日月新半导体(苏州)有限公司
日月新半导体(苏州)有限公司
陈坤能
.
中国专利
:CN223300574U
,2025-09-05
[9]
一种半导体设备
[P].
张明辉
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
张明辉
;
刘红志
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
刘红志
;
冯凯强
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
冯凯强
.
中国专利
:CN119050003A
,2024-11-29
[10]
一种半导体器件表面预清洁方法
[P].
林静
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
林静
.
中国专利
:CN104733283A
,2015-06-24
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