一种半导体抛光预清洁设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310949854.3
申请日
2023-07-31
公开(公告)号
CN119427101A
公开(公告)日
2025-02-14
发明(设计)人
金相一
申请人
成都高真科技有限公司
申请人地址
610000 四川省成都市高新区科新路8号附19号
IPC主分类号
B24B7/22
IPC分类号
B24B29/02 B24B27/033 B24B49/10 B24B47/12 B24B41/06 B24B49/16
代理机构
成都行之专利代理有限公司 51220
代理人
喻英
法律状态
实质审查的生效
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种半导体焊接预清洁设备 [P]. 
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庄明虔 ;
李儒 .
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[2]
一种电极及半导体预清洁设备 [P]. 
翟硕彦 .
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[3]
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王琰 ;
葛绍理 .
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[4]
一种电极组件及半导体预清洁设备 [P]. 
王琰 ;
葛绍理 .
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[5]
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[6]
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[8]
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[9]
一种半导体设备 [P]. 
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刘红志 ;
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[10]
一种半导体器件表面预清洁方法 [P]. 
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