OPTICAL DETERMINATION OF MOBILITY AND CARRIER CONCENTRATION IN HEAVILY DOPED POLYCRYSTALLINE SILICON

被引:39
作者
MISHIMA, Y
HIROSE, M
OSAKA, Y
机构
关键词
D O I
10.1063/1.327733
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页数:3
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