LOW-TEMPERATURE KINETICS OF SI(100) MBE GROWTH

被引:23
作者
JORKE, H
KIBBEL, H
SCHAFFLER, F
HERZOG, HJ
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(89)90455-0
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页数:7
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