ATOMIC OXYGEN IN SILICON - THE FORMATION OF THE SI-O-SI BOND

被引:40
作者
MARTINEZ, E
PLANS, J
YNDURAIN, F
机构
来源
PHYSICAL REVIEW B | 1987年 / 36卷 / 15期
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.36.8043
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:8043 / 8048
页数:6
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