IMPLANTATION AND PH3 AMBIENT ANNEALING OF INP

被引：39

作者：

DAVIES, DE

POTTER, WD

LORENZO, JP

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2131308

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1845 / 1848

页数：4

共 8 条

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