THIN EPITAXIAL GE-SI(111) FILMS - STUDY AND CONTROL OF MORPHOLOGY

被引:162
作者
MAREE, PMJ [1 ]
NAKAGAWA, K [1 ]
MULDERS, FM [1 ]
VANDERVEEN, JF [1 ]
KAVANAGH, KL [1 ]
机构
[1] CORNELL UNIV,DEPT MAT SCI & ENGN,ITHACA,NY 14853
关键词
D O I
10.1016/S0039-6028(87)81180-9
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:305 / 328
页数:24
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