NONDESTRUCTIVE LIFETIME MEASUREMENT IN SILICON-WAFERS BY MICROWAVE REFLECTION

被引：56

作者：

BORREGO, JM ^{[1
]}

GUTMANN, RJ ^{[1
]}

JENSEN, N ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,E FISHKILL FACIL,HOPEWELL JUNCTION,NY 12533

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(87)90149-3

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：195 / 203

页数：9

共 9 条

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