REDISTRIBUTION OF MANGANESE AFTER ANNEALING OF GAAS IMPLANTED WITH SI+ AND SE+

被引:21
作者
KANBER, H [1 ]
FENG, M [1 ]
WHELAN, JM [1 ]
机构
[1] UNIV SO CALIF,DEPT MAT SCI,LOS ANGELES,CA 90007
关键词
D O I
10.1063/1.92967
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:960 / 962
页数:3
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