OPTICAL PROPERTIES OF SILICON-NITRIDE

被引:381
作者
PHILIPP, HR [1 ]
机构
[1] GE,RES & DEV CTR,SCHENECTADY,NY 12301
关键词
D O I
10.1149/1.2403440
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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