EXPERIMENTAL-OBSERVATIONS OF CHEMISTRY OF SIO2-SI INTERFACE

被引:89
作者
GRUNTHANER, FJ
MASERJIAN, J
机构
关键词
D O I
10.1109/TNS.1977.4329175
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页码:2108 / 2112
页数:5
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