REFRACTIVE-INDEX DISPERSION OF PHOSPHOSILICATE GLASS, THERMAL OXIDE, AND SILICON-NITRIDE FILMS ON SILICON

被引:54
作者
LEE, HJ
HENRY, CH
ORLOWSKY, KJ
KAZARINOV, RF
KOMETANI, TY
机构
来源
APPLIED OPTICS | 1988年 / 27卷 / 19期
关键词
D O I
10.1364/AO.27.004104
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
引用
收藏
页码:4104 / 4109
页数:6
相关论文
共 11 条