SI SURFACE CLEANING AND EPITAXIAL-GROWTH OF GAAS ON SI BY ELECTRON-CYCLOTRON RESONANCE PLASMA-EXCITED MOLECULAR-BEAM-EPITAXY AT LOW-TEMPERATURES

被引:22
作者
SHIBATA, T
KONDO, N
NANISHI, Y
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2096471
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:3459 / 3462
页数:4
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