HEAVY-METAL GETTERING IN SILICON-DEVICE PROCESSING

被引:52
作者
BALDI, L
CEROFOLINI, G
FERLA, G
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2129609
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
引用
收藏
页码:164 / 169
页数:6
相关论文
共 21 条