LOW-LEVEL CURRENTS IN ION-IMPLANTED MOSFET

被引:8
作者
MASUHARA, T [1 ]
ETOH, J [1 ]
机构
[1] HITACHI LTD,CENT RES LAB,1-280 HIGASHI KOIGAKUBO,KOKUBUNJI 185,TOKYO,JAPAN
关键词
D O I
10.1109/T-ED.1974.18056
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:799 / 807
页数:9
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