DEFORMATION-FREE OVERGROWTH OF REACTIVE ION-BEAM ETCHED SUBMICRON STRUCTURES IN INP BY LIQUID-PHASE EPITAXY

被引:8
作者
SCHILLING, M
WUNSTEL, K
机构
关键词
D O I
10.1063/1.97575
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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