ENERGY-DISTRIBUTION OF ELECTRON-TRAPPING CENTERS IN LOW-PRESSURE CHEMICALLY VAPOR-DEPOSITED SI3N4 FILMS

被引:13
作者
KAPOOR, VJ
BIBYK, SB
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(81)90619-2
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:193 / 201
页数:9
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