DEFECT COMPENSATION IN DOPED CVD AMORPHOUS-SILICON

被引:40
作者
HIROSE, M
TANIGUCHI, M
NAKASHITA, T
OSAKA, Y
SUZUKI, T
HASEGAWA, S
SHIMIZU, T
机构
[1] HIROSHIMA INST TECHNOL,DEPT ELECTR,HIROSHIMA,JAPAN
[2] KANAZAWA UNIV,DEPT ELECTR,KANAZAWA,ISHIKAWA 920,JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0022-3093(80)90610-9
中图分类号
TQ174 [陶瓷工业]; TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:297 / 302
页数:6
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