STUDY OF SILICON-SILICON DIOXIDE STRUCTURE BY ELECTRON-SPIN RESONANCE .2.

被引:85
作者
NISHI, Y
OHWADA, A
TANAKA, K
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.11.85
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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