TIME RESOLVED X-RAY-DIFFRACTION STUDY OF LASER ANNEALING IN SILICON AT GRAZING-INCIDENCE

被引:10
作者
BUSCHERT, JR
TISCHLER, JZ
MILLS, DM
ZHAO, Q
COLELLA, R
机构
关键词
D O I
10.1063/1.344109
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3523 / 3525
页数:3
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