有机衬底SnO2:Sb透明导电膜的制备与特性研究

被引：5

作者：

郝晓涛

马瑾

徐现刚

杨莺歌

张德恒

杨田林

马洪磊

机构：

[1] 山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所

[2] 山东大学晶体材料国家重点实验室

[3] 淄博学院数理系

[4] 山东大学物理与微电子学院光电

来源：

物理学报 | 2002年 / 02期

基金：

高等学校骨干教师资助计划;

关键词：

柔性衬底; SnO2:Sb透明导电膜; 射频磁控溅射法;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

常温下 ,采用射频磁控溅射法在有机的柔性衬底上制备出了SnO2 :Sb透明导电膜 ,并对薄膜的结构和光电性质进行了研究 .制备的样品为多晶薄膜 ,并且保持了二氧化锡的金红石结构 .性能良好的薄膜电阻率为 6 .5× 10 - 3Ω·cm ,载流子浓度为 1.2× 10 2 0 cm- 3 ,霍耳迁移率是 9.7cm2 ·V- 1 ·s- 1 .薄膜在可见光区的平均透过率达到了 85 %.

引用

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页数：4

共 4 条

[1] 反应溅射法制备TiO2薄膜 [J].