KTa0.55Nb0.45O3薄膜的介电和铁电及热释电性能研究

被引：7

作者：

王世敏

张刚升

李佐宜

张端明

机构：

[1] 湖北大学化学与材料科学学院

[2] 华中理工大学电子科学与技术系

来源：

硅酸盐学报 | 1999年 / 06期

关键词：

钽铌酸钾; 薄膜; 溶胶-凝胶法; 制备; 热释电性能;

D O I：

10.14062/j.issn.0454-5648.1999.06.007

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

在ＢＴ／Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上用溶胶－凝胶法制备了ＫＴａ０．５５Ｎｂ０．４５Ｏ３（ＫＴＮ）薄膜．０．５ μｍＫＴＮ－０．０８ μｍＢＴ薄膜在２５ ℃，１．０ｋＨｚ时，其εｒ＝１１１４，ｔａｎδ＝２．５％；１２ ℃时，其Ｐｒ＝２．１ μＣ／ｃｍ２，Ｐｓ＝４．２ μＣ／ｃｍ２，Ｅｃ＝５．８ｋＶ／ｃｍ．０．５ μｍ厚ＫＴＮ膜的Ｃｕｒｉｅ温度为３５ ℃；２５ ℃，１．０ｋＨｚ时，ＫＴＮ膜的εｒ＝１４１２．估算ＫＴＮ材料的体积热容Ｃｖ＝２．７３Ｊ／ｃｍ３·Ｋ．ＫＴＮ薄膜在室温及１０３ｋＶ／ｃｍ下极化３０ｍｉｎ后，其室温热释电系数ｐ＝５．１ ×１０－７Ｃ／ｃｍ２·Ｋ，电压响应优值Ｆｖ＝１．３２ ×１０－１０Ｃ·ｃｍ／Ｊ，探测度优值Ｆｄ＝３．１５ ×１０－１０Ｃ·ｃｍ／Ｊ，该薄膜是一种优异的热释电材料．

引用

页码：678 / 684

页数：7

共 8 条

[1] 脉冲激光淀积BaTiO3薄膜的介电与铁电特性 [J].