微型压阻式压力传感器的研制附视频

被引：2

作者：

朱作云

李跃进

王文襄

机构：

[1] 西安电子科大微电子研究所

[2] 西安电子科大微电子所

来源：

关键词：

压力传感器; 微机械加工; 压阻系数;

D O I：

10.16180/j.cnki.issn1007-7820.1997.01.006

中图分类号：

+ [];

学科分类号：

摘要：

用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。

引用

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页数：4

共 5 条

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