纳米Si薄膜的结构及压阻效应

被引：6

作者：

何宇亮，林鸿溢，武旭辉，余明斌，于晓梅，王珩，李冲

机构：

[1] 北京航空航天大学非晶态物理与光信息研究室，北京理工大学电子工程系，西安交通大学电子工程系

来源：

关键词：

纳米Si薄膜，压阻效应，微结构，简支梁法;

D O I：

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中图分类号：

TN304.12 [];

学科分类号：

摘要：

使用ＨＲＥＭ及ＳＴＭ技术检测了纳米Ｓｉ薄膜的微结构纳米Ｓｉ薄膜由大量的细微Ｓｉ晶粒以及大量的晶粒间界面区组成．这一特殊的结构造成纳米Ｓｉ薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量．本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用，并认为纳米Ｓｉ薄膜材料将是一种理想的传感器材料

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