非晶硅薄膜晶化过程中微结构的分析

被引：10

作者：

何宇亮

周衡南

刘湘娜

程光煦

余是东

机构：

[1] 南京大学物理系

[2] 南京大学固体微结构物理实验室

来源：

关键词：

晶硅薄膜; 高分辨率电子显微镜; 非晶相; 射线衍射; 晶化过程; CVD; 晶粒; 颗粒; 晶面; 面(晶体); 晶种; 硅原子; 微结构; 土壤结构;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

使用X射线衍射技术和高分辨率电子显微镜(HREM),分析研究了在非晶硅薄膜由非晶相向微晶相转化过程中其网络结构的变化特征,由此,给人们一个直观的信息,并加深对非晶硅薄膜微结构的认识。

引用

页码：1796 / 1802+1864 +1864

页数：8

共 4 条