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我国等离子体工艺研究进展
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[1] 中国科学院力学研究所
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关键词:
等离子体工艺,热等离子体,非平衡等离子体;
D O I:
暂无
中图分类号:
O53 [等离子体物理学];
学科分类号:
070204 ;
摘要:
扼要综述了我国等离子体材料工艺研究的新近进展.内容包括:热等离子体源,等离子冶金、化工、超细粉合成、喷涂;低气压非平衡等离子体源,镀膜,表面改性,等离子浸没离子注入;电晕放电,介质阻挡放电,滑动弧等及其应用.当前,各类薄膜制备和表面改性的研究工作最为活跃
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陈栋梁
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朱爱民
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机构: 大连理工大学化工学院等离子体化学实验室

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王军
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胡建芳
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刘裕明
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杨金玲
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机构: 中央民族大学物理系

胡克良
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机构: 中央民族大学物理系

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