我国等离子体工艺研究进展

被引:20
作者
吴承康
机构
[1] 中国科学院力学研究所
关键词
等离子体工艺,热等离子体,非平衡等离子体;
D O I
暂无
中图分类号
O53 [等离子体物理学];
学科分类号
070204 ;
摘要
扼要综述了我国等离子体材料工艺研究的新近进展.内容包括:热等离子体源,等离子冶金、化工、超细粉合成、喷涂;低气压非平衡等离子体源,镀膜,表面改性,等离子浸没离子注入;电晕放电,介质阻挡放电,滑动弧等及其应用.当前,各类薄膜制备和表面改性的研究工作最为活跃
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