共 22 条
[1]
特种陶瓷.[M].王零森编著;.中南大学出版社.2005,
[2]
新型陶瓷材料手册.[M].钦征骑主编;.江苏科学技术出版社.1996,
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
AlN陶瓷基板材料的典型性能及其制备技术
被引：79
作者：
王超
彭超群
王日初
余琨
李超
机构：
[1] 中南大学材料科学与工程学院
来源：
关键词：
AlN;
导热机理;
合成;
烧结;
烧结助剂;
基板;
D O I：
10.19476/j.ysxb.1004.0609.2007.11.001
中图分类号：
TQ174.1 [基础理论];
学科分类号：
081705 [工业催化];
摘要：
AlN陶瓷是一种新型的基板材料,具有优异的电性能和热性能,被誉为新一代高密度封装的理想基板材料。介绍AlN陶瓷的典型性能和导热机理;讨论AlN粉末的5种合成方法:铝粉直接氮化法、Al2O3碳热还原法、化学气相沉积法、溶胶?凝胶法、自蔓延高温合成法和等离子化学合成法;分析AlN烧结助剂的选择和5种烧结工艺:热压烧结、无压烧结、放电等离子烧结、微波烧结及自蔓延烧结;阐述AlN基板的制备工艺及其影响因素。
引用
收藏
页码：1729 / 1738
页数：10
相关论文