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激光热冲击引起PZT压电薄膜铁电性能的变化
被引:6
作者:
言智
郑学军
周益春
机构:
[1] 湘潭大学材料与光电物理学院
来源:
关键词:
薄膜物理学;
压电薄膜;
脉冲激光;
热冲击;
剩余极化强度;
D O I:
暂无
中图分类号:
O484.4 [薄膜的性质];
学科分类号:
摘要:
应用高能量单脉冲激光作用在锆钛酸铅 (PZT)压电薄膜上 ,研究脉冲激光的热冲击对PZT薄膜性能产生的影响。发现在激光未烧熔薄膜的能量密度下 ,经过激光作用后 ,PZT薄膜的铁电性能发生变化 :在外加电压为 6V时 ,剩余极化强度值Pr 从 32 6 99μC/cm2 变到 2 6 316 μC/cm2 ;矫顽电场保持为 38 396kV/cm不变 ;疲劳性能变稳定 ,在循环 1 75× 10 9次时 Pr 衰变率由 4 4 3%变为 34 7%。最后讨论分析了产生这种现象的微观机理。
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