等离子体技术沉积SiCN薄膜中杂质O的来源、化合状态及其对薄膜结构和性能的影响

被引：5

作者：

赵艳艳

徐军

丁万昱

张明明

陆文琪

机构：

[1] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

来源：

真空科学与技术学报 | 2009年 / 29 卷 / 01期

关键词：

SiCN薄膜; 微波-ECR等离子体; 化学结构; 杂质;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.2009.01.009

中图分类号：

TB383.2 [];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

利用微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射法制备了硅碳氮(SiCN)薄膜,并利用X射线光电子能谱、扫描电镜、椭偏光谱仪等对薄膜成分、结构、性能等进行表征。结果表明薄膜中O杂质含量及其结合态对薄膜的化学结构和机械性能都产生了很大影响。Si靶溅射功率最低时(100W),薄膜中O杂质含量高达10.63%,以Si-O键结构为主,此时薄膜的疏松结构导致大气环境下O的化学吸附是O杂质的主要来源;在高Si靶溅射功率情况下(>250W),薄膜中O杂质含量低于4%,且以C-O键结构为主,薄膜致密,硬度最高达29.1GPa、折射率可达2.43。

引用

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共 5 条

[1] 碳含量对碳氮化硅薄膜化学结构和力学性能的影响 [J].