氧化钒薄膜的结构、性能及制备技术的相关性

被引：18

作者：

袁宁一

李金华

林成鲁

机构：

[1] 江苏石油化工学院功能材料实验室

[2] 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室

来源：

关键词：

氧化钒薄膜; 相变; 热电阻温度系数;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

氧化钒薄膜及其在微电子和光电子领域中的应用已成为国际上新颖功能材料研究的热点之一。本文综述了V2 O5和VO2 薄膜电学性能与薄膜组分和结构的相关性 ,比较了不同工艺制备的氧化钒薄膜的电学性能差异

引用

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